发布时间：2026-10-15
热烈祝贺赫兹创新（HzI）
动态无线非接触供电系统累计交付
突破100km+！
赫兹创新（HzI）
截至目前，HzI与国内及台湾地区的主要AMHS厂商联合研发的动态无线非接触供电系统已为大陆、台湾和东南亚十多家半导体晶圆厂、封测厂、液晶面板厂终端客户的数十个前道制程及先进封测项目的天车系统提供4年以上的高可靠非接触供电。
自2022年至今累计交付已突破100km天车运行轨道！
这也是赫兹创新长期深耕半导体AMHS领域无线非接触供电的重要阶段性成果。
非接触供电系统是洁净车间AMHS的核心支持系统
随着半导体制造工艺的进步，产线中的工序成倍增长，关键机台的吞吐量也在不断增加。传统的人力搬运已经无法满足高效生产的需求，AMHS（Automated Material Handling System，自动物料搬送系统，包括运送和存储晶圆盒的天车OHT及Stocker等）系统通过自动化搬运，显著提高了生产效率和产品良率。
随着晶圆厂规模扩大，OHT运行轨道不断延伸，对供电系统的连续性、稳定性以及洁净环境适应能力提出了更高要求。
在半导体洁净车间环境中，传统支持移动设备的接触式供电因长期运行需要面对机械接触、磨损及摩擦产生颗粒及维护等问题无法用于洁净车间AMHS系统，而动态无线非接触供电技术则通过无线电能传输实现移动设备移动中动态取电，无需机械接触，成为OHT供电的最佳且必须的核心支撑技术。
无线非接触供电技术（或简称CPS/HID/DWPT）是基于电磁感应与耦合谐振原理，突破传统接触式供电技术瓶颈。
核心优势包括：
1、零污染高可靠：
非接触供电消除了物理接触导致的触点磨损、打火等问题，同时避免金属微粒污染洁净室，保障
14nm以下制程良率；
2、高动态高效供电：
支持天车5m/s高速移动中稳定供电，多段轨道无缝拼接覆盖全厂；
3、全生命周期降本：
无磨损、维护成本大大降低。
过去十多年，半导体AMHS系统基本被日本村田（Muratec）和大福（Daifuku）垄断，很重要原因是无国产非接触供电系统这一核心支撑。
2020年前后，国内出现了多家AMHS厂商，早期多家厂商使用德国厂家在其它工业制造领域的非接触供电系统应用在OHT上走了很多弯路；少数厂家采用了韩国非接触供电厂商的产品，价格高响应慢。
赫兹创新基于自身在无线电能传输技术WPT（Wireless Power Transfer）的积累和创新，立足自主研发，持续投入OHT动态无线非接触供电技术与产品研发，围绕半导体洁净车间的实际应用需求，对标日本大福产品技术特性，不断推进技术突破、产品迭代和工程验证。
在2022年推出了可对标国际水平的面向OHT应用的国产化动态无线非接触供电产品及解决方案。填补了国内空白，助力国产AMHS研发，突破半导体物料传送设备自主可控瓶颈。
100ms内互备接入，解决OHT连续运行中的供电可靠性问题
因应芯片制造的高可靠需求，赫兹创新开发出100ms内完成互备接入（FailOver）的高可用CPS，并围绕故障检测、互备切换、同步控制等关键环节持续优化，使无线非接触供电系统能够适应OHT长距离、连续高可靠运行的实际需求。
当供电单元出现异常时，系统能够快速完成故障识别及冗余接管，从而降低单点故障对OHT连续运行造成的影响。
在此基础上，赫兹创新进一步围绕OHT长距离动态供电需求，持续突破低频无线电能传输、系统同步以及供电与通信协同等关键技术。
小于10kHz低谐振频率，让无线供电更适配洁净室环境
半导体洁净室对电磁环境、颗粒控制以及设备稳定性具有严格要求。
针对OHT应用特点，赫兹创新持续突破小于10kHz低谐振频率、低辐射WPT逆变及谐振技术，降低无线供电系统对周边设备及环境的潜在影响，使动态无线供电技术能够更好地适配半导体洁净车间应用。
与此同时，赫兹创新针对OHT长距离轨道供电场景，持续优化系统控制架构。
通过高精度相位同步技术以及CAN/光纤混合同步控制网络，实现多供电柜之间的协同运行，使数公里级轨道上的多个供电单元能够保持同步，为大范围OHT动态无线供电提供系统基础。
对于大型晶圆厂而言，这意味着无线供电系统不再只是单个设备的局部解决方案，而能够进一步适配更长轨道、更大范围以及更多设备的实际应用需求。
从“供电”到“能信同传”，提升系统协同能力
OHT无线供电系统的价值，也并不止于电能传输。
在实际AMHS系统中，设备需要持续获取稳定电力，同时还涉及状态监控、控制指令以及设备识别等信息交互。
基于长期技术研发，赫兹创新进一步突破能信同传技术，通过逆变电流调制实现信号传输，可用于紧急指令传输、天车交通管制及供电轨道节能。
近期，赫兹创新成功斩获一项非接触供电轨道节能领域核心专利授权。该专利聚焦非接触供电系统的节能技术创新，或为全球首项针对非接触供电节能技术的核心专利，具有重要的技术创新价值与行业意义。
由此，无线非接触供电系统逐步从单一的“电能传输系统”，向兼顾供电、通信系统控制协同及节能的综合技术体系发展。
这也是赫兹创新持续推进OHT无线供电产品化的重要方向：
不仅要实现无线供电，更要让无线供电真正融入半导体AMHS系统，满足实际产线长期稳定运行的需求同时，还能给AMHS系统注入持续创新的力量。
